蓄热催化氧化是20世纪70年代REECO（Research-CotteII）推出了处置VOCs的蓄热氧化安装RTO（RegenerativTherOxi-dizers）,早期的RTOs采用马鞍型陶瓷蓄热体，热回收效率仅有85%左右，后来又采用了TYPAK蓄热体，将热回收效率仅有85%左右，后来又采用了TYPAK蓄热体，将热回收效率进步到95%。
无论是由马鞍型陶瓷蓄热体还是由TYPAK蓄热体组成的蓄热床，都形成了很大压力损失，目前RTOs采用的规整陶瓷蓄热床很好的处理了这个问题，它不只大大降低了氧化系统的压力损失，而且维持了较高的热回收率，设备采用流向变换操作，经过催化熄灭将废气中的碳氢化合转化为CO2和H2O，使有毒有害的废气变为无毒无害的气体，从而使污染得到管理。
采用熄灭法处置时，应装置减压阀，控制可燃气的速度，尽量使气体渐渐放出，使之在熄灭安装内充沛熄灭掉，处置毒性气体时，工作人员必需戴防毒面具、手套等劳维护具与处置工作无关的人员，制止进入毒气处置区，依据同性互相排挤、异性互相吸收的原理，带电粒子状涂覆介质在电场力的作用下，沿电力线定向流向带正电荷的涂覆物体外表，堆积出一层平均、附着力强的薄膜。