在制造或使用高纯氯气时，如果管道没有紧密密封或在维护过程中，则可能会暴露于氯气中，氯是一种黄绿色刺激性气体，比空气重2，5倍，它会对呼吸道造成严重损害，并对眼睛的粘膜和皮肤有强烈刺激性，在使用高纯氯气过程中，需要加强安全教育，改善操作程序，定期检查生产设备，防止操作，风险，滴漏和泄漏，并加强通风，运输时要注意安全和个人防护，职前体检，患有气管或心脏和肺部疾病的人不应从事此类工作，高纯氯气广泛用于化工，塑料等行业，在造纸和纺织工业中用作漂白剂。
高纯氪气是稀有气体，无色、无味、无毒、惰性，氪气集中存在于大气中，在大气中占有1，1ppm，沸点-153，35℃，大气中氪的含量极低（痕量，按体积计为1，可以将高纯氮气运用在大规模集成电路和半导体原件的的制作上，为其提供氮气源保护作用，还可以将高纯氮气运用在清洗、密封、置换、蒸发等工作中，充分利用高纯氮气的优势，为高纯洁净环境空间提供气体保护，高纯氮气甚至还可以运用在航天技术中，保障航天行业发展。
但空气中氮含量的增加会导致氧气稀释，影响人们的正常呼吸，高浓度的氮会导致窒息，液氮与皮肤接触可导致冷烧伤，吸入高浓度氮气的患者应迅速转移到空气新鲜的地方，休息并保暖，当皮肤接触到液氮时，立即用水清洗，如果出现寒战，请就医，冶金行业在发展过程中，使用高纯氮气保护加热退火与热处理等技术的发展都有着长足的进步空间，并对冶金加工业的生产起到了重要推动作用，由此可见，这些技术的发展为氮基气氛热处理指明了发展方向。