产品是利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出的。它大致有如下几种分类:油封式真空泵:它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙,减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。此类产品的极限真空一般为0.05 pa~0.5pa左右,正常工作压力为0.5pa~103pa甚至更高。主要用于抽除空气或含有少量可凝性气体,真空度要求较高的工艺流程。如真空金属冶炼、食品真空冷冻干燥、真空镀膜、电力电容器行业的真空干燥等工艺。
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液环真空泵:将带有多叶片的转子偏心安装在泵壳内。当它旋转时,把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液通常为水、油或其它低饱和液体。此类产品的极限真空一般为300 pa~3000pa左右,正常工作压力为500pa~105pa。主要用于抽除空气或含有大量可凝性气体,且真空度要求不高的工艺流程。如化工和制药行业的真空干燥和真空浓缩、轻纺行业和造纸行业的真空脱水、大型水泵的引水、颗粒物料的真空输送等工艺。
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