以下是影响氧分析仪测定的4个因素： 1、氧气分析仪气路系统的简化和清洁 显微分析要求气路必须有效消除各种管件、阀门、表头等死角对样气的污染，因此应尽量简化气路系统，连接件应选择死角小的。另外，避免使用水封、油封、蜡封等设备，防止溶解氧逸出造成污染。还要避免增加可能对将样气引至氧气分析仪入口的管道造成污染的净化设备。 2、氧分析仪的污染 氧分析仪重复使用时，首先要注意连接采样管路时是否有漏气现象，漏气一定要小心吹走。尽量不要让大量氧气通过传感器，以延长传感器寿命。在净化管道系统的过程中，为了缩短净化时间，需要一定的方法，一般采用高压脱气和小流量吹扫交替进行，对管道进行快速净化。 3、管材的选择 管道材质和表面粗糙度也会影响样气中氧含量的变化。一般不应使用塑料管、橡胶管等作为连接管。通常是铜使用管或不锈钢管，超微量分析必须使用抛光不锈钢管（参考0.1ppm）。 4、氧气分析仪泄漏问题 氧气分析仪必须严格泄漏检测。氧气分析仪只有在严密泄漏的前提下才能获得准确的数据结果。任何缺乏紧触点、焊点、阀门等，会使空气中的氧气逆向渗入管道和氧气分析仪内部，导致氧气含量高。
为什么预处理系统如此重要？ 由于气体分析仪是精密仪器，其操作条件比较苛刻。被测气体的温度、湿度、流量、压力等必须满足分析条件可以进行检测，否则检测结果不合格。当它达到要求时，它就失去了指导意义。 但气体分析仪的使用环境多为化学环境，工作条件比较恶劣。因此，预处理单元中使用的气体分析仪和预处理部件必须非常可靠。在考虑工艺介质参数的情况下，必须考虑冗余设计，以保证分析仪的良好性能。否则，在苛刻的检测条件下，气体分析仪的传感器很容易出现损坏或其他问题。
红外气体分析仪优点： 测量范围宽：气体的上限可分析至100%，下限可达数个（ppm）浓度。精炼后还可以进行trace (ppb)分析（物质含量小于百万分之一的分析方法） 高灵敏度：监测灵敏度高，气体浓度变化小 可以区分测量精度高：一般在FS（满量程），很多产品达到FS。与其他分析方法相比，具有较高的精度和稳定性定性好，响应速度快：响应时间一般在10S以内（时间达到T90）； 红外气体分析仪缺点：无法分析对称结构的非极性双原子分子和单原子分子气体（He、Ne、Ar）
