特种气体依据气体性质不同普通分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；依据供给包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。
一、简单特气供气系统
简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体资料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需求连续性供气，对气体供给系统的投资预算低。
由于气体流量小，不经常运用，特种气体气源多采用普通钢瓶（<50L）。保送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板；配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，有害性气体装备紧急迫断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些以至用单瓶系统。全部气体共用一个气体房，以至没有气体房，特气钢瓶和保送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。假如没有特别风险气体普通共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在平安隐患。
二、常规特气供气系统
常规供气系统主要应用于4-6英寸大范围集成电路厂，50MW以下的太阳能电池消费线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等范围的电子行业。对气体纯度控制的请求不苛刻，系统装备在满足平安的前提下尽量简单，俭省投资。
特种气体采用普通钢瓶（<50L）供气。特气保送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气面子板采用气动阀门和压力传感器，可完成自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重平安防护措施，走漏侦测，远程紧急迫断；专用氮气吹扫来源等等。VMB采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。惰性气体多采用半自动气瓶架，继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空；VMB主管气动阀，氮气吹扫；支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。气体房和抽风系统依据气体性质停止分类。
