在高纯气体中，杂质水常用露点表示。露点是指含水分的气体冷却到水汽饱和时的温度。即用等压冷却的方法使被测气体中的水蒸气开始出现露或霜，测量此时的温度，即为该气体的露（霜）点。测量其露点温度便可知气体湿度值。 露点仪是采用此方法设计的湿度计，具有准确度高，测量范围宽的特点。高精密露点仪是目前普遍采用的一种标准仪器。
露点仪的测量方法——电解法 就是将干燥剂吸收的水分经电解池电解成氢气和氧气排出，电解电流的大小与水分含量成正比，通过检测该电流即可测得样气的湿度。该方法弥补了重量法的缺点，测量量程可达-80℃以下，且精度较好，价格便宜;缺点是电解池气路需要在使用前干燥很长时间，且对气体的腐蚀性及清洁性要求较高。
露点仪的测量方法——冷镜法 也是一种经典的测量方法。让样气流经露点冷镜室的冷凝镜，通过等压制冷，使得样气达到饱和结露状态(冷凝镜上有液滴析出)，测量冷凝镜此时的温度即是样气的露点。该方法的主要优点是精度高，尤其在采用半导体制冷和光电检测技术后，不确定度甚至可达0.1℃;缺点是响应速度较慢，尤其在露点-60℃以下，平衡时间甚至达几个小时，而且此方法对样气的清洁性和腐蚀性要求也较高，否则会影响光电检测效果或产生'伪结露'造成测量误差。
