在制造或使用高纯氯气时，如果管道没有紧密密封或在维护过程中，则可能会暴露于氯气中，氯是一种黄绿色刺激性气体，比空气重2，5倍，它会对呼吸道造成严重损害，并对眼睛的粘膜和皮肤有强烈刺激性，在使用高纯氯气过程中，需要加强安全教育，改善操作程序，定期检查生产设备，防止操作，风险，滴漏和泄漏，并加强通风，运输时要注意安全和个人防护，职前体检，患有气管或心脏和肺部疾病的人不应从事此类工作，高纯氯气广泛用于化工，塑料等行业，在造纸和纺织工业中用作漂白剂。
高纯氪气是稀有气体，无色、无味、无毒、惰性，氪气集中存在于大气中，在大气中占有1，1ppm，沸点-153，35℃，大气中氪的含量极低（痕量，按体积计为1，可以将高纯氮气运用在大规模集成电路和半导体原件的的制作上，为其提供氮气源保护作用，还可以将高纯氮气运用在清洗、密封、置换、蒸发等工作中，充分利用高纯氮气的优势，为高纯洁净环境空间提供气体保护，高纯氮气甚至还可以运用在航天技术中，保障航天行业发展。
高纯度氮气具有较多优势，只要使用得当，就会起到促进行业生产与发展的作用，高纯氮气，工厂利用高纯氮气作为主要保护气体进行轧钢、镀锌等处理，尤其是在进行薄钢片的处理过程中，高纯氮气的运用十分关键，氮气本身无毒且无**性，吸入的氮气仍以其原始形式通过呼吸道排出，使用高纯氮气保护加热退火与热处理等技术，对冶金加工业的生产起到了重要推动作用，氮基气氛热处理是一种全新的工艺，较传统工艺相比，这种工艺具有高效率、环保等特点，能够将工业生产中对环境造成的影响降到很低。
