校准设备，校准装置由用于校准的温度传感器(热电偶或热电阻)、连接线和校准仪表组成，它应该是一个稳定的、校准过的、误差已知的系统，用于校准的传感器的指示误差应符合±(1，1℃或0，4%读数)，过程传感器的测量端与测温端之间的距离应不大于76mm，越近越好，以减少空间距离对校准结果的影响，没有必要在多个温度下进行校准，因为校准仅仅是对工艺温度计系统精度的验证，只要能证明系统没有明显偏差或保持必要的稳定性即可。
(3)工艺温度仪表本身老化引起的计量特性变化，工艺温度仪表系统在现场和使用过程中应定期进行标定，使其综合偏差控制在可接受的范围内，保证工艺温度在合理的范围内变化，AMS2750E规定用清洁的金属热电偶作为工作过程传感器只需在首次使用前检查，此后无需重新校准，如果加热炉额外增加一个过程温度测量系统，其他系统使用稳定的传感器或多个过程传感器及时更换，并及时相互验证从不同系统获得的数据，也可以消除过程温度测量系统校准。
炉内温度均匀性是否可靠，取决于热处理炉内加热元件的发热特性和工艺温度仪表系统的测控能力，在稳定的控制条件下，加热元件产生的热量和温度分布具有良好的重复性，如果过程温度仪表系统比较稳定，炉温均匀性也会在小范围内变化，zui后的测试结果，有效地实现了过程温度的控制，使用常驻校准传感器存在一定的风险，因为在热处理炉的加热和冷却过程中，任何类型的温度传感器的测量特性都会发生变化，而这种变化无疑会反映在校准结果中，使校准结果不可靠。
